Lukacs, E.E.LukacsMakai, J.J.MakaiRiesz, F.F.RieszSzentpali, B.B.SzentpaliPfitzner, L.L.Pfitzner2022-03-082022-03-082006https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/307337de608670620530VORRICHTUNG ZUR SCHNELLEN, QUANTITATIVEN, KONTAKTLOSEN TOPOGRAFISCHEN UNTERSUCHUNG VON HALBLEITERSCHEIBEN ODER SPIEGELAEHNLICHEN OBERFLAECHENpatent2001-4057