Klumpp, B.B.Klumpp2022-03-082022-03-081990https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/318066In diesem Artikel wird eine Übersicht über die Messverfahren zur Messung von Sub-um-Partikeln auf allen Arten von Oberflächen gegeben. Es werden Streulichtmessverfahren, Lichtmikroskopie, Rasterelektronenmikroskopie und automatisierte Messverfahren beschrieben.deMessenMeßverfahrenOberflächeOberflächeneigenschaftPartikelmeßtechnikReinraumTeilchen670conference paper