Franke, ChristianChristianFrankeSchürmann, MarkMarkSchürmannWilbrandt, SteffenSteffenWilbrandtKaiser, NorbertNorbertKaiser2022-03-112022-03-112012https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/376641de620Simulation der Abscheidung von dielektrischen Schichtsystemen auf große optische Bauteileconference paper