Betz, H.H.BetzChlebek, J.J.ChlebekHuber, H.L.H.L.Huber2022-03-082022-03-081989https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/302280Bei einem Verfahren zur Herstellung von Silizium-Roentgenmasken wird eine Siliziummembran beidseitig mit einer Siliziumnitridschicht geeigneter Staerke bedeckt und die Definition von Bereichen, in denen optische Transparenz erhalten werden soll, mit Hilfe einer geeigneten Phototechnik durchgefuehrt.de608621patent1987-3707130