Kersten, P.P.KerstenGlaw, V.V.GlawReichl, H.H.Reichl2022-03-032022-03-031994https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/184487de621Excimerlaser-Bearbeitung von Epoxidharzschichten für MCML-Anwendungen, für Mikrobohrungen geeignetjournal article