Jacob, W.W.JacobKnorr, B.B.KnorrParodat, S.S.ParodatPeters, D.D.PetersUhlig, A.A.Uhlig2022-03-092022-03-092000https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/336396de621004Optimierung von Mikrosystemenconference paper