Arnold, W.W.ArnoldKröning, M.M.Kröning2022-03-082022-03-081991https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/318846Zerstörungsfreie Prüfverfahren werden zunehmend in den Produktionsprozeß eingebunden, um möglichst fehlerfrei und daher kosteneffektiv herstellen zu können. Weiterhin werden in immer größerem Maß hochintegrierte Komponenten u.a. in sicherheitsrelevanten Bereichen verwandt. Dies stellt neue Anforderungen an die zfP d.h. sie erfordern Mikro-zfP. Mittels Anwendungsbeispielen wird eien Übersicht über die bisher eingesetzten Verfahren und die bisher erreichten Ergebnisse der Mikro-zfP gegeben. Dazu zählen insbesondere hochfrequenter Ultraschall, Röntgenverfahren (Durchstrahlung, Tomografie und Beugung) und elektromagnetische Verfahren. Neue Meßtechniken, die noch nicht als Prüfverfahren entwickelt sind, jedoch unserer Ansicht nach ein entsprechendes Potential haben, z.B. NMR-Tomografie, Tunnelmikroskopie, Positronentomografie usw. werden ebenfalls diskutiert.demicro-nondestructive testingMikro-zerstörungsfreie PrüfungNMRnuclear magnetic resonanceRöntgenUltraschallultrasoundx-ray inspection620658670conference paper