Burck, P.P.BurckReitzenstein, W.W.ReitzensteinKappel, H.H.KappelTönshoff, H.K.H.K.Tönshoff2022-03-092022-03-091996https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/326553deGravierenStrukturierenreinigen667621671Mikrostrukturierung von Keramiken in reaktiven Gasatmosphären mit UV-Lasernconference paper