Pankert, J.J.PankertApetz, R.R.ApetzBergmann, K.K.BergmannDerra, G.G.DerraJanssen, M.M.JanssenJonkers, J.J.JonkersKlein, J.J.KleinKrücken, T.T.KrückenList, A.A.ListLoeken, M.M.LoekenNeff, W.W.NeffProbst, S.S.ProbstPrummer, R.R.PrummerRosier, O.O.RosierSeiwert, S.S.SeiwertSiemons, G.G.SiemonsVaudrevange, D.D.VaudrevangeWagemann, D.D.WagemannWeber, A.A.WeberZink, P.P.ZinkZitzen, O.O.Zitzen2022-03-102022-03-102005https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/34940910.1117/12.598650en621Integrating Philips' extreme UV source in the alpha-toolsconference paper