Bartsch, JonasJonasBartschKamp, MathiasMathiasKampKluska, SvenSvenKluska2024-06-172024-06-172022-04-21https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/469783Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Strukturierung einer Metallschicht eines Bauelements durch elektrochemisches Abtragen, wobei- ein Werkstück und eine als Werkzeug fungierende segmentierte Kathode mit einem flüssigen Elektrolyten in Kontakt gebracht werden,- das Werkstück umfassend- ein Substrat mit einer Substratoberfläche,- eine auf der Substratoberfläche vorliegende zu strukturierende Metallschicht,- eine auf der zu strukturierenden Metallschicht vorliegende Maske,- die segmentierte Kathode voneinander beabstandete und separat regelbare Segmente enthält,- zwischen dem Werkstück und der segmentierten Kathode eine Relativbewegung parallel zur Substratoberfläche stattfindet.depatentDE102020127452 A1DE202010127452