Dürr, C.C.DürrFühner, T.T.FühnerTollkühn, B.B.TollkühnErdmann, A.A.ErdmannKokai, G.G.Kokai2022-03-042022-03-042007https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/21486710.1007/978-3-540-73297-6_9en670Memetic algorithms: Parametric optimization for microlithographybook article