Grüger, H.H.GrügerSchenk, H.H.SchenkWolter, A.A.WolterHeberer, A.A.HebererZimmer, F.F.Zimmer2022-03-032022-03-032004https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/206522de621629Spektrometer mit mikromechanischem Gitterjournal article