Fritzsche, C.C.Fritzsche2022-03-082022-03-081976https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/301552de608621667Verfahren zur Herstellung von bereichsweise unterschiedlich dicken Deckschichten auf Festkoerpern, vorzugsweise Silizium-HalbleiterkoerpernProcess for the production of different thicknesses of top coat on solid bodies, in particular silicon semiconductor bodiespatent1972-2250129