Bewertung der mechanischen Zuverlässigkeit mikrotechnischer Aufbauten mittels in-situ-Verformungsexperimenten im REM

Kühnert, R.R.KühnertTränkner, K.K.TränknerAuersperg, J.J.AuerspergMichel, B.B.Michel2022-03-092022-03-091995https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/324049de621Bewertung der mechanischen Zuverlässigkeit mikrotechnischer Aufbauten mittels in-situ-Verformungsexperimenten im REMconference paper