Wiemer, M.M.Wiemer2022-03-062022-03-061999https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/273549deBeschleunigungssensorMikromechanik621Technologieentwicklung für Beschleunigungssensoren und Drehratensensoren unter Nutzung von Waferbondverfahrendoctoral thesis