Reinert, WolfgangWolfgangReinertStenchly, VanessaVanessaStenchlyQuenzer, Hans-JoachimHans-JoachimQuenzerKähler, DirkDirkKähler2024-05-172024-05-172022-08-25https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/468468Ein Verfahren (100) umfasst folgende Schritte: Bereitstellen (120) eines Formsubstrats und eines Abdeckungssubstrats, die miteinander verbunden sind, wobei ein Oberflächenbereich des Formsubstrats und/oder des Abdeckungssubstrats strukturiert sind, um eine abgeschlossene Kavität zwischen dem Abdeckungssubstrat und dem Formsubstrat zu bilden, wobei das Abdeckungssubstrat ein Glasmaterial mit einem Linsenmaterialabschnitt aufweist, der in einer ausgerichteten Position zu der abgeschlossenen Kavität angeordnet ist; Tempern (130) des Abdeckungssubstrats und des Formsubstrats, um die Viskosität des Glasmaterials des Abdeckungssubstrats zu verringern, und Bereitstellen (140) eines Überdrucks in der abgeschlossenen Kavität gegenüber der umgebenden Atmosphäre, um basierend auf der verringerten Viskosität des Glasmaterials des Abdeckungssubstrats und dem Überdruck in der abgeschlossenen Kavität gegenüber der umgebenden Atmosphäre ein definiertes Auswölben des Glasmaterials des Abdeckungssubstrats ausgehend von der abgeschlossenen Kavität bis zu einer von dem Abdeckungssubstrat beabstandeten Anschlagfläche eines Anschlagelements zu bewirken, um ein geformtes Abdeckungssubstrat mit einem Deckelelement zu erhalten, wobei das definierte Auswölben das Ausbilden eines Linsenelements aus dem Linsenmaterialabschnitt an dem Deckelelement bewirkt; und Entfernen des Anschlagelements und des Formsubstrats von dem geformten Abdeckungssubstrat.depatentDE102021203650 A1DE202110203650