Kleindienst, R.R.KleindienstCimalla, VolkerVolkerCimallaEickhoff, M.M.EickhoffGrewe, A.A.GreweHolc, KatarzynaKatarzynaHolcSchätzle, J.J.SchätzleSchörmann, J.J.SchörmannSchwarz, U.T.U.T.SchwarzTeubert, J.J.TeubertSinzinger, S.S.Sinzinger2022-03-122022-03-122013https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/381101In diesem Beitrag stellen wir die Mikro-Nano-Integration eines opto-chemischen Sensors zur Detektion oxidierender und reduzierender Gase basierend auf III-N-Nanodrahtheterostrukturen vor. Der Optikdesignansatz zur effizienten Formung der Anregungsstrahlung wird ebenso wie die hochpräzise Fertigung der miniaturisierten Integrationsplattform erläutert. Nach Charakterisierung des optischen Mikrosystems, werden die elektro-optischen Komponenten und die Nanodrahtheterostrukturen integriert, um den Sensor hinsichtlich seiner Gasdetektionseigenschaften zu untersuchen.de667conference paper