Under CopyrightShaw, S.S.ShawFuchs, H.V.H.V.Fuchs2022-03-023.4.20081984https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/17119210.24406/publica-fhg-171192dedünnes Bauteiloptischer SensorSchwingung624690Optischer Sensor für Schwingungen dünner Bauteilejournal article