Bubenzer, A.A.BubenzerKoidl, P.P.KoidlWagner, J.J.WagnerWild, C.C.Wild2022-03-082022-03-081986https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/314175enamorpher Kohlenstoffharter KohlenstoffPlasmaabscheidungPlasmacharakterisierung621667Characterization hydrocarbon plasma used for a-C-H depositionconference paper