Bosbach, ChristofChristofBosbachDepiereux, FrankFrankDepiereuxPfeifer, TiloTiloPfeifer2022-03-032022-03-032003https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/20486710.1524/teme.70.2.85.20103Der Einsatz und die Nutzung von miniaturisierten Bauteilen oder Produkten ist seit Jahren etabliert; sei es in der Telekommunikation oder Automobilbranche. Jedoch ist die Frage nach geeigneten Produktionsverfahren und -mitteln immer aktuell und ist in vielen Fällen noch nicht ausreichend gelöst bzw. es stehen noch Lösungen aus. Gerade Bereiche der Prozesskontrolle bzw. -regelung (durch und) mittels Messtechnik bergen Entwicklungspotentiale. Der vorliegende Artikel zeigt die Entwicklung eines faserbasierten Abstandmesssystems und dessen Einsatzmöglichkeiten.defaseroptisches AbstandsmesssystemStufenspiegelDoppelinterferometer670658681journal article