Manoli, YiannakisYiannakisManoliMokwa, WilfriedWilfriedMokwa2022-03-032022-03-031991https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/180103Während Silizium seit Jahrzehnten als Grundmaterial für elektronische Bauelemente dient, wird es erst seit kurzem auch für miniaturisierte mechanische Präzisionsstrukturen verwendet. Damit lassen sich Mikrosensoren realisieren und zusammen mit komplexen elektronischen Schaltungen auf einem Substrat integrieren - eine Technik mit großer Zukunft. Als praktisches Beispiel wird hier ein intelligentes Sensorsystem für die Medizintechnik vorgestellt, das mit einem Katheter in Venen eingeschoben werden kann und direkt im Blut die verschiedensten Meßgrößen erfaßt und vorverarbeitet.deHerzkatheterMikrosensorMikrosystemtechnikSensorsystemSilizium621journal article