Gommel, U.U.Gommel2022-03-032022-03-032006https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/210237In der Pharmaindustrie und Halbleitertechnik ist die Reinraumtechnik längst Stand der Technik, und auch in der Mikrosystemtechnik wächst der Bedarf an anwendungsgerechten Reinraumlösungen. Um eine Produktgefährdung durch Kontaminationen reinheitskritischer Komponenten auszuschließen, bedarf es jedoch eines ganzheitlichen Ansatzes, der weit über die Reinlufttechnik hinausgeht. Damit Produktfehler auf ein Minimum reduziert werden, sind in einem Reinheitssystem neben dem Personal beispielsweise auch das Design der Produktionsanlagen sowie die Teilelogistik zu berücksichtigen.deMikrosystemtechnikReinheitssystemReinraumReinraumtechnikMikrotechnikKontaminationFertigungsanlage670620journal article