Pfitzner, L.L.PfitznerBär, E.E.BärFrickinger, J.J.FrickingerNguyen, H.H.NguyenNutsch, A.A.Nutsch2022-03-102022-03-102004https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/345210dePolierprozeßSiliciumscheiben-HerstellungHalbleiterfertigungintegrierte SchaltungProzess-SimulationScheiben-ReclaimProzess-Kontrolle670620530conference paper