Grimme, R.R.GrimmeRochowicz, M.M.RochowiczWerner, D.D.WernerSchäfer, W.W.Schäfer2022-03-092022-03-091998https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/330757deFertigungMikrosystemReinigung670Lokale Reinigungsverfahrenconference paper