Resonante Siliziumsensoren mit elektrostatischer Abstimmung für die Vibrationsanalyse

Wibbeler, J.J.WibbelerKüchler, M.M.KüchlerSteiniger, C.C.SteinigerBertz, A.A.BertzWolf, K.K.WolfMehner, J.J.MehnerGessner, T.T.Gessner2022-03-092022-03-091999https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/333754de621Resonante Siliziumsensoren mit elektrostatischer Abstimmung für die Vibrationsanalyseconference paper