Kohlhoff, JürgenJürgenKohlhoffKretschmer, ThomasThomasKretschmer2022-03-032022-03-031999https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/195063Der Artikel gibt einen kurzen Überblick über den Stand der Technik und die Entwicklungstrends auf dem Gebiet der Mikrostrukturtechnik. Behandelt werden technologische Grundlagen und Anwendungen.deEntwicklungstrendsmicromechanicsMikrostrukturtechnikMikrosystemtechniksynopsistechnological trendsÜberblick620600journal article