Hinkov, V.V.HinkovKörber, M.M.Körber2022-03-032022-03-032005https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/20886110.1524/teme.2005.72.7-8.476Es wurden neuartige monokristalline Piezoaktoren, die für die industrielle Messtechnik besonders gut geeignet sind, entwickelt und untersucht. Der vorliegende Beitrag zeigt, wie die Herstellungstechnologie der thermischen Domäneninversion optimiert wurde, wobei noch ein relativ großer Spielraum zur Verbesserung dieser Technologie und somit zur Steigerung der Leistungsfähigkeit der neuen Aktoren besteht. Darüber hinaus haben die Untersuchungen der Wandler folgende Eigenschaften gezeigt: hohe Linearität, extrem kleine Hysterese im Bereich von Promille der maximalen Ablenkung, Ermöglichung von Torsionsbewegungen mit hoher Bandbreite (3 kHz), sehr gute Temperaturstabilität und eine sehr hohe Auflösung beim Einsatz als Laserstrahlablenker.dePiezo-AktorenLiNbO3PiezoeffektDomäneninversionkristallines Bimorph621681journal article