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Bauteilprüfung im Mikro- und Nanobereich
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Title
Bauteilprüfung im Mikro- und Nanobereich
Institut
Deutscher Verband für Materialforschung und -prüfung e.V. -DVM-, Berlin
Verlag
DVM
Verlagsort
Berlin
Datum
2000
Serie
DVM-Bericht; 519
ISSN
1615-2301
Konferenz
Deutscher Verband für Materialforschung und -prüfung, Arbeitskreis Mikro- und Nanoprüftechnik (Tagung) 1998
Deutscher Verband für Materialforschung und -prüfung, Arbeitskreis Mikro- und Nanoprüftechnik (Tagung) 2000