From WLR to aging simulations - a unified approach for aging modeling
Titel Supplements
Presentation held at VDE ITG Fachtagung MN 5.6 (fast)WLR/Wafer Level Reliability, Zuverlässigkeits-Simulation & Qualifikation, 23. bis 25. Mai 2022, Dresden
Abstract
Alterungssimulationen im IC-Design erfordern entsprechende Alterungsmodelle. In dieser Präsentation wird ein allgemeiner Ansatz vorgestellt, mit dem Alterungsmodelle aus Zuverlässigkeitsmessungen auf der Waferebene abgeleitet werden können.
