Modellbasierte Auswertung eines keramischen Feuchtesensors

Ein keramischer Feuchtesensor (UST, Geschwenda) wurde bei einer Sensortemperatur von 25 °C (Raumtemperatur) im Bereich von 0 mbar bis etwa 22,2 mbar Wasserdampf-Partialdruck und bei einer Sensortemperatur von 320 °C im Bereich von 0 mbar bis etwa 426 mbar Partialdruck mittels Impedanzspektroskopie untersucht. Die Spektren wurden anschließend mittels eines elektrischen Ersatzschaltbildes (EES) gefittet. Die extrahierten Bauelemente des Ersatzschaltbilds wurden als Merkmale für eine Partial Least Squares Regression (PLSR) verwendet, um ein lineares Modell zur Quantifizierung des Feuchtegehalts in Luft zu erhalten.

A ceramic humidity sensor (UST, Geschwenda) was characterized at room temperature from 0 mbar to 22.2 mbar water partial pressure and at 320 °C sensor temperature from 0 mbar to 426 mbar partial pressure with electrical impedance spectroscopy. The measured spectra were fitted to an electrical equivalent circuit. The extracted features were used as features in a partially least squares regression to determine a linear model for quantification of humidity in air.