Neben filmischen Verunreinigungen, die beispielsweise die Haftung von Oberflächenbeschichtungen behindern können, spielen Partikel als Verschmutzung für viele Bauteile, Substrate und Verarbeitungsschritte eine kritische Rolle. Für manche Anwendung ist eine statistische oder Stichprobenprüfung ausreichend, andere hingegen erfordern eine vollflächige Prüfung aller Teile oder Oberflächenbereiche. Der Vortrag gibt einen Überblick über Methoden und Geräte zur Erfassung, Zählung und Vermessung von Partikeln auf Oberflächen und Bauteilen am Beispiel unterschiedlicher Branchen und Anwendungen. Die kritischen Partikelgrößen können dabei vom Nanometerbereich bis in den Millimeterbereich reichen. In vielen Anwendungen ist allerdings der Einsatz von direkten Messverfahren auf den zu verarbeitenden Teilen und Oberflächen nicht möglich - es kommen dann Probe nehmende Verfahren zum Einsatz. Auch diese werden im Rahmen des Vortrags vorgestellt.
