2007
Titel

Technologieentwicklung für 1-Mega-Pixel Mikrospiegel-Arrays mit hohem optischem Füllfaktor und langzeitstabilem Auslenkverhalten
Author(s)
Schmidt, J.-U.
Friedrichs, M.
Rudloff, D.
Lakner, H.
Hauptwerk
Konferenz
Thumbnail Image
Language
Deutsch