Automatisierte Höchstpräzisionsfertigungstechnologie für Mikrooptik-Baugruppen
Abstract
Für die Präzisionsfertigung und -ausrichtung von miniaturisierten optischen Baugruppen im Submikrometer-Bereich wird eine CNC-Maschine vorgestellt, in die verschiedene Messsysteme und Justagetools für eine automatische Fertigung integriert sind. Der modulare Aufbau erlaubt die Anpassung der Fertigungseinrichtung an verschiedene Optikbaugruppen.
