One-level gray-tone lithography for micro optical components

1996

Conference Paper

Author(s)

Reimer, K.

Henke, W.

Quenzer, H.J.

Demmeler, R.

Wagner, B.

Hauptwerk

OPTO '96. 2. Kongress Optische Sensorik, Meßtechnik, Elektronik. Kongreßband

Konferenz

Kongreß mit Fachausstellung für Optische Sensorik, Meßtechnik, Elektronik 1996