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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. FEM-Anwendungen auf mechanisch-thermische Probleme in der Mikrotechnik
 
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1995
Conference Paper
Titel

FEM-Anwendungen auf mechanisch-thermische Probleme in der Mikrotechnik

Alternative
Applications of FEM to mechanical-thermal problems in the field of microtechnology
Author(s)
Auersperg, J.
Kaulfersch, E.
Dudek, R.
Michel, B.
Hauptwerk
Micro Materials, Micro Mat 1995. Proceedings
Konferenz
Conference Micro Materials (Micro Mat) 1995
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Language
German
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Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM
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