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Fraunhofer-Gesellschaft
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Title

Sensor mit einer Festkörper-Schichtstruktur und Verfahren zur Herstellung eines Sensors

Date Issued
2021
Author(s)
Kurth, Eberhard
Kunath, Christian
Patent No
102019216327
Abstract
Die Erfindung bezieht sich auf einen Sensor mit einer Festkörper-Schichtstruktur, der folgende Elemente aufweist: Eine erste Schicht, die ein Halbleitermaterial aufweist; eine zweite Schicht, die ein Gold-Material und ein Sauerstoff-Material aufweist; und eine zwischen der ersten und der zweiten Schicht angeordnete Isolationsschicht.
Language
Deutsch
Institute
IPMS
Link
https://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&FT=D&CC=DE&NR=102019216327A1
Patenprio
DE 102019216327 A1: 20191023
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