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Title
Verfahren zum Herstellen eines Schichtverbundes bestehend aus einer Kunststofffolie und einer darauf abgeschiedenen Schicht
Date Issued
2017
Author(s)
Patent No
102015122024
Abstract
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines Schichtverbundes aus einer Kunststofffolie und mindestens einer unmittelbar auf der Kunststofffolie mittels chemischer Dampfabscheidung innerhalb einer Vakuumkammer abgeschiedenen Schicht, welche einen mindestens 20-prozentigen Masseanteil eines metallenen Elements oder eines Halbleiterelements aufweist, wobei während der Schichtabscheidung zumindest ein Monomer in die Vakuumkammer eingelassen und ein Plasma innerhalb der Vakuumkammer ausgebildet wird. Erfindungsgemäß wird die Schicht nach erfolgter Schichtabscheidung zumindest in einem Oberflächenbereich mit beschleunigten Elektronen beaufschlagt.
Language
Deutsch
Institute
Patenprio
DE 102015122024 A1: 20151216