Aerostatische Lageranordnung mit zugeordneter elektrostatischer Vorspanneinheit, insbesondere fuer die Vakuumanwendung

(A1) Es wird eine aerostatische Lageranordnung zum Bewegen einer Vorrichtung auf einer Basisstruktur, insbesondere in einer Vakuumumgebung, mit mindestens einem aerostatischen Lagerelement, das einen einen Tragzonenbereich und einen Absaugbereich aufweisenden Lagerkoerper umfasst, vorgeschlagen. Dem mindestens einen aerostatischen Lagerelement ist eine elektrostatische Vorspanneinheit mit mindestens einer Elektrode zugeordnet, an die eine Spannung anlegbar ist, derart, dass eine Kraftkomponente in Richtung der Flaechennormalen des Lagerkoerpers des aerostatischen Lagerelements erzeugt wird.

EP 2161465 A2 UPAB: 20100318 NOVELTY - The arrangement has an aerostatic bearing element (2) that includes a bearing body containing a supporting zone region. Gas supply openings or porous regions are arranged inside the supporting zone region for supplying gas that stays under pressure for generating a gas blanket. The aerostatic bearing element is attached to an electrostatic pretensioning unit (20) with an electrode. The voltage is applied to the electrode such that an electrostatic force component is produced in the direction of a surface normal of the bearing body of the aerostatic bearing element. USE - Aerostatic bearing arrangement for vacuum use. ADVANTAGE - The aerostatic bearing element is attached to the electrostatic pretensioning unit with the electrode, where the voltage is applied to the electrode such that the electrostatic force component is produced in the direction of the surface normal of the bearing body of the aerostatic bearing element, thus eliminating the need for additional masses and enabling pretensioning by a simple construction, and preventing negative influences of the electron beam for the electron beam lithography.