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Halbleiter- oder hybridtechnologiebasierte Messanordnung mit spezieller Impedanzanordnung
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Title
Halbleiter- oder hybridtechnologiebasierte Messanordnung mit spezieller Impedanzanordnung
Date Issued
1997
Author(s)
Faul, R.
Folkmer, B.
Hemmetzberger, J.D.
Patent No
1996-19615381
Language
Deutsch
Institute
IZM
Link
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=19619686A
Patenprio
DE 1996-19615381 A1: 19960418