Eigenschaften und Präzision der wellenfrontbasierten Justage
Abstract
Die wellenfrontbasierte Justage bietet einen eleganten Ansatz für die exakte Positionierung der Funktionsflächen und Elemente mehrkomponentiger optischer Systeme. Mit nur einer Messung lässt sich der Systemzustand abbilden und geeignete Korrekturanweisungen aller Freiheitsgrade ableiten. Diese Form der Justage setzt zur Charakterisierung der optischen Funktion des auszurichtenden Systems Wellenfrontsensoren ein. Nachdem einmalig das Systemverhalten durch die Einbringung bekannter Perturbationen charakterisiert wurde, kann aus der Wellenfront des zu justierenden Systems über Matrixoperationen auf die relevanten Freiheitsgrade und geeignete Korrekturanweisungen zurückgerechnet werden. Dies ist daher ein eleganter Ansatz zur effizienten und sehr genauen Korrektur von Positionen einzelner Funktionsflächen in mehrkomponentigen optischen Systemen. Sie kombiniert die schnelle Berechnung aller erforderlichen Korrekturanweisungen in nur einem Verfahrensschritt mit hoher Präzision. Die Herausforderungen in der Übertragung dieses Ansatzes auf reale Applikationen liegt einerseits in der steigenden Komplexität bei Systemen mit mehr Elementen, andererseits sind sehr stabile Sensordaten mit geringem Rauschen erforderlich.
