Die Mikrosystemtechnik beschäftigt sich mit der Herstellung technischer Systeme, deren funktions- und leistungsbestimmende Strukturen Abmessungen vom Millimeter- bis hinab in den Nanometerbereich haben. Häufig als Transferentwicklung der Mikroelektronik auf nichtelektronische Gebiete angesehen, vereint sie diese mit den Technologien der Mikromechanik, Mikrooptik, Mikrofluidik, Mikrosensorik und Mikroaktorik. Durch die Vernetzung lassen sich die Mikrosysteme zu so genannten Smart Systems weiterentwickeln, die es erlauben, Situationen zu beschreiben und zu bewerten, vorausschauend zu entscheiden und mit ihrer Umgebung zu kommunizieren. Dieser Beitrag gibt einen kurzen Überblick über den Stand der Technik und Entwicklungsmöglichkeiten
