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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Oberflächenbeschichtung bei Atmosphärendruck
 
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2005
Journal Article
Titel

Oberflächenbeschichtung bei Atmosphärendruck

Titel Supplements
Barrieren-Entladung
Abstract
Mit Atmosphärendruck-Plasmaverfahren ist es möglich, große Flächen in hohen Prozessgeschwindigkeiten zu aktivieren und zu beschichten. Der folgende Beitrag informiert über den Stand der Technik und beschreibt Anwendungen.
Author(s)
Thomas, M.
Eichler, M.
Klages, C.-P.
Zeitschrift
JOT. Journal für Oberflächentechnik
Thumbnail Image
DOI
10.1007/BF03242827
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST
Tags
  • Dünnschicht

  • elektrische Entladung...

  • Gasatmosphäre

  • Dielektrikum

  • Barriere

  • atmosphärischer Druck...

  • Oberflächeneigenschaf...

  • Precursor

  • Aminogruppe

  • dünne Schicht

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