Der Buchbeitrag beschreibt verschiedene heizbare Grundbauelement für die Gassensorik (Interdigitalkondensator, Quarz-Mikrowaage, Oberflächenwellenbauelement), die zur Mikrosystemtechnik kompatibel sind. Anwendung ist die Messung von CO2 (100 -30000 ppm) zur Bestimmung der Innenraumluftqualität. Als sensitive Schicht dient ein spezielles Heteropolysiloxan. Für die Interdigitalkondensatoren wird die Theorie erweitert und darauf aufbauend ein Signalverarbeitungssystem zur Unterdrückung der Feuchtequerempfindlichkeit und Kompensation von Drifteffekten beschrieben.
