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Fraunhofer-Gesellschaft
Artikel
Lineare Verdampfer zur Herstellung von Schichten konstanter Dichte
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1973
Journal Article
Titel
Lineare Verdampfer zur Herstellung von Schichten konstanter Dichte
Author(s)
Schiller, S.
Goedicke, K.
Zeitschrift
Vakuum-Technik
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
