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2002
Journal Article
Title
Abschied von Traditionen. Strahlverfahren zur Feinreinigung in der Mikrotechnik
Abstract
Am Fraunhofer IPA werden Verfahren zur lokalen Reinigung mikrotechnischer Funktionselemente entwickelt. Neben der Laserreinigung wurde eine leistungsfähige Methode zur Reinigung mit CO2-Schnee konzipiert. Entsprechende Reinigungssysteme und -geräte lassen sich kurzfristig an verschiedene Produktionsumgebungen anpassen.