Mikromechanischer Schallwandler

Ein mikromechanischer Schallwandler umfasst entsprechend einem ersten Aspekt einen ersten Biegeaktuator mit einem freien Ende und einem zweiten Biegeaktuator mit einem freien Ende, die in einer gemeinsamen Ebene angeordnet sind, wobei das freie Ende des ersten Biegeaktuators von dem freien Ende des zweiten Biegeaktuators durch einen Spalt getrennt ist. Der zweite Biegeaktuator wird phasengleich zu der Schwingung des ersten Biegeaktuators angeregt. Ein mikromechanischer Schallwandler umfasst gemäß einem zweiten Aspekt einen ersten Biegeaktuator und einen vertikal zu dem ersten Biegeaktuator erstreckendes Blendenelement, das durch einen Spalt von einem freien Ende des ersten Biegeaktuators getrennt ist.

A micromechanical acoustic transducer comprises, according to a first aspect, a first bender transducer with a free end and a second bender transducer with a free end which are situated in a common plane, wherein the free end of the first bender transducer is separated from the free end of the second bender transducer by a gap. The second bender transducer is excited in phase to the vertical oscillation of the first bender transducer. A micromechanical acoustic transducer comprises, according to a second aspect, a first bender transducer which is excited vertically to the oscillation and a plate element which extends vertically relative to the first bender transducer and is separated from a free end of the first bender transducer by a gap.