Vorrichtung zur Messung der Lage und Bewegung eines schwingfaehigen Koerpers

Ein Verfahren zur Messung des Ortes oder der Bewegung eines Koerpers, beispielsweise eines schwingenden Koerpers (3), das bzw. die einfach ausgestaltet sein soll, keinen grossen apparativen Aufwand erfordert, unabhaengig von Fremdeinfluessen ist und eine hohe Aufloesung gewaehrleistet, ist derart ausgestaltet, dass der Strahl (17) eines Lasers (15) aufgespalten, ein Teil (11) ueber eine Kante (9) des sich bewegenden Koerpers (3) und ein anderer Teil (13) ueber eine sich relativ zum Koerper bewegende Referenzkante (7) gefuehrt wird. Die Intensitaeten der Strahlen (11, 13) werden gemessen und miteinander verglichen. Eine erfindungsgemaesse Anordnung hat neben dem Koerper (3) eine Referenzkante (7), relativ zu der sich der Koerper (3) bewegt. Es ist ein Laser (15) vorgesehen, zur Aufspaltung dessen Strahles (17) in zueinander parallele Mess- und Referenzstrahlen (11, 13) im Strahlengang des Laserstrahls (17) ein halbdurchlaessiger und ein Umlenkspiegel (21, 23) angeordnet sind. Jeweils ei ner der aufgespaltenen Strahlen (21, 23) wird ueber eine Kante (9) des Koerpers (3) und ueber die Referenzkante (7) gefuehrt und es sind Detektoren (29, 31) im Weg der Strahlen (11, 13) angeordnet.