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  • Publication
    Optimierung von Mikrofräswerkzeugen in der Werkzeugplanungsphase
    ( 2004)
    Uhlmann, E.
    ;
    Füting, M.
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    Schauer, K.
    Die Mikrosystemtechnik verlangt auch bei kleinen Stückzahlen wirtschaftliche Fertigungsverfahren, die den Qualitätsanforderungen gerecht werden. In zunehmendem Maße findet hierfür die Mikrozerspanung mit Hartmetallwerkzeugen ihren Einsatz. Diese Technologie bietet neben den Vorteilen der herstellbaren Geometriekomplexität und flexibilität auch die Möglichkeit der Bearbeitung funktionaler Materialien (beispielsweise Stahllegierungen). Grundvoraussetzungen für die Prozesssicherheit dieser Technologie sind hohe Werkzeugstandzeiten sowie die Kenntnis der technologischen Bearbeitungsparameter. Dieser Fachbeitrag zeit Lösungswege, wie die Schwachstellen heutiger Mikrozerspanwerkzeuge, die insbesondere aus ihrer Herstellung resultieren, reduziert und eine sichere Prozessgestaltung für deren Anwendung entwickelt werden können.
  • Publication
    Endbearbeitung von Mikrofräsern mittels Ionenstrahltechniken
    ( 2004)
    Borek, S.
    ;
    Schauer, K.
    ;
    Füting, M.
    ;
    Heilmann, A.
    Um die Anwendungsmöglichkeiten von Mikrowerkzeugen zu erweitern, wurde untersucht, ob sich die Oberflächenqualität von Mikro fräsern durch eine Ionenstrahlbehandlung verbessern lässt. Dazu wurden zunächst die Abtragraten verschiedener Ionenätzverfahren bestimmt und miteinander verglichen. Mit einer speziell konzipierten Vakuum anlage wurden Mikrowerkzeuge mit Hilfe einer Kaltkathoden-Ionenquelle nachbehandelt. Die Werkzeugoberflächen wurden vor und nach der Ionenbestrahlung mittels Rasterelektronenmikroskopie (REM) unter sucht. Nach der Ionenbestrahlung konnte eine deutliche Ober flächenglättung und ein Selbstschärf-Effekt der Mikrofräser festgestellt werden.