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  • Patent
    Vorrichtung zur Untersuchung von Oberflaechentopographien mittels Streifen-Triangulation
    ( 2002)
    Koerner, K.
    ;
    Holger, F.
    ;
    Krahn, A.
    ;
    Puder, J.
    The description refers to a device for examining the topographies of light scattering object surfaces, comprising a light source, a Fizeau interferometer consisting of a plane mirror surface and a beam splitter surface inclined in relation to said plane mirror surface, for the generation of an interference fringe pattern, and an image receiver. The invention is characterized by the fact that the beam splitter surface of the Fizeau interferometer is arranged downstream of an optical element having an optically active surface with total reflection effect for bundles reflected several times in the Fizeau interferometer. Alternatively the beam splitter surface of the Fizau interferometer is arranged downstream of an optically active surface having a total relection effect for bundles reflected several times in the Fizeau interferometer in such a way that the beam splitter surface and the optically active surface are surfaces of a prism.
  • Patent
    Vorrichtung und Verfahren zur spanenden Bearbeitung von Werkstueckoberflaechen
    ( 1999)
    Puder, J.
    Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung und ein Verfahren zur spanenden Bearbeitung von Werkstueckoberflaechen. Bei der erfindungsgemaessen Vorrichtung erfolgt die periodische Bewegung des Werkzeuges relativ zum Werkstueck durch einen Flaechenantrieb mit zwei unabhaengig voneinander ansteuerbaren, funktionell identischen Antriebsmodulen. Mit diesen Antriebsmodulen, die jeweils zumindest einen Linearantrieb aufweisen, wird eine Bewegung des Werkzeugs in zwei Bewegungsachsen ermoeglicht. Der Flaechenantrieb weist weiterhin ein Wegmesssystem zur Erfassung der durch die Bewegung erzeugten Bahn des Werkzeugs auf. Ein rechnergesteuerter Antriebsregler dient der Ansteuerung der beiden Antriebsmodule. Durch eine Rechnersteuerung des Antriebes in den beiden geregelten Bewegungsachsen wird eine frei waehlbare definierte Flugbahn fuer das Werkzeug realisiert. Das erfindungsgemaesse Verfahren beseitigt in Verbindung mit der angegebenen Vorrichtung den Mangel des Entstehens der Fraestextur, indem die Fraesbewegung des Werkzeuges optimal so gesteuert wird, dass in Verbindung mit einer entsprechenden Bahnaufteilung fuer die zeilenweise Annaeherung der Werkstueckflaeche keine konkaven Rillenstrukturen, sondern nur noch die quantitativ geringeren Werkzeugspuren auftreten. Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung und ein Verfahren zur spanenden Bearbeitung von Werkstueckoberflaechen. Bei der erfindungsgemaessen Vorrichtung erfolgt die periodische Bewegung des Werkzeuges relativ zum Werkstueck durch einen Flaechenatrieb mit zwei unabhaengig voneinander ansteuerbaren, funktionell identischen Antriebsmodulen. Mit diesen Antriebsmodulen, die jeweils zumindest einen Linearantrieb aufweisen, wird eine Bewegung des Werkzeugs in zwei Bewegungsachsen ermoeglicht. Der Flaechenatrieb weist weiterhin ein Wegmesssystem zur Erfassung der durch die Bewegung erzeugten Bahn des Werkzeugs auf. Ein rechnergesteuerter Antriebsregler dient der Ansteuerung der beiden Antriebsmodule. Durch eine Rechnersteuerung des Antriebes in den beiden geregelten Bewegungsachsen wird eine frei waehlbare definierte Flugbahn fuer das Werkzeug realisiert. Das erfindungsgemaesse Verfahren beseitigt in Verbindung mit der angegebenen Vorrichtung den Mangel des Entstehens der Fraestextur, indem die Fraesbewegung des Werkzeuges optimal so gesteuert wird, dass in Verbindung mit einer entsprechenden Bahnaufteilung fuer die zeilenweise Annaeherung der Werkstueckflaeche keine konkaven Rillenstrukturen, sondern nur noch die quantitativ geringeren Werkzeugspuren auftreten.
  • Patent
    Zweistrahl-Interferometer
    ( 1990)
    Koerner, K.
    ;
    Ludovit, N.
    ;
    Puder, J.
    ;
    Stadthaus, W.
    ;
    Dolkeit, T.
    Die Erfindung betrifft ein Zweistrahl-Interferometer zur Messung der Gestalt insbesondere ultrapraezisionsbearbeiteter Oberflaechen, nach dem Interferenzprinzip. Erfindungsgemaess begrenzen am Ausgang eines Interferometers mit einer zur Referenzstrahlenbuendelachse geneigten Prueflingsstrahlenbuendelachse zwei teilverspiegelte Flaechen einen Raum, die im Winkelbereich < 1 Grad keilfoermig zueinander angeordnet sind, wobei der Neigungswinkel der Buendelachsen und der Winkel zwischen den beiden teilverspiegelten Flaechen, die die Aussenflaechen eines quer verschiebbaren Glaskeiles bilden koennen, so aufeinander abgestimmt sind, dass zwischen der zweiten teilverspiegelten Flaeche und einem Objektiv durch eine Zickzack-Reflexion zwischen den beiden teilverspiegelten Flaechen und durch eine Transmission dieser von jeweils einem Teilstrahlenbuendel, Teilstrahlenbuendel-Paare bestehen, die genau aus je einem Teilreferenz-Strahlenbuendel und einem Teilprueflings-Strahlenbuendel gebildet sind.D urch Verschiebung des Glaskeiles wird es moeglich, die Phase im Interferogramm definiert zu verstellen. Durch eine geeignete Teilverspiegelung des Glaskeiles wird ein hoher Kontrast im Interferogramm erreicht.