2002
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Koerner, K.
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Holger, F.
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Krahn, A.
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Puder, J.
The description refers to a device for examining the topographies of light scattering object surfaces, comprising a light source, a Fizeau interferometer consisting of a plane mirror surface and a beam splitter surface inclined in relation to said plane mirror surface, for the generation of an interference fringe pattern, and an image receiver. The invention is characterized by the fact that the beam splitter surface of the Fizeau interferometer is arranged downstream of an optical element having an optically active surface with total reflection effect for bundles reflected several times in the Fizeau interferometer. Alternatively the beam splitter surface of the Fizau interferometer is arranged downstream of an optically active surface having a total relection effect for bundles reflected several times in the Fizeau interferometer in such a way that the beam splitter surface and the optically active surface are surfaces of a prism.
1990
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Koerner, K.
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Ludovit, N.
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Puder, J.
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Stadthaus, W.
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Dolkeit, T.
Die Erfindung betrifft ein Zweistrahl-Interferometer zur Messung der Gestalt insbesondere ultrapraezisionsbearbeiteter Oberflaechen, nach dem Interferenzprinzip. Erfindungsgemaess begrenzen am Ausgang eines Interferometers mit einer zur Referenzstrahlenbuendelachse geneigten Prueflingsstrahlenbuendelachse zwei teilverspiegelte Flaechen einen Raum, die im Winkelbereich < 1 Grad keilfoermig zueinander angeordnet sind, wobei der Neigungswinkel der Buendelachsen und der Winkel zwischen den beiden teilverspiegelten Flaechen, die die Aussenflaechen eines quer verschiebbaren Glaskeiles bilden koennen, so aufeinander abgestimmt sind, dass zwischen der zweiten teilverspiegelten Flaeche und einem Objektiv durch eine Zickzack-Reflexion zwischen den beiden teilverspiegelten Flaechen und durch eine Transmission dieser von jeweils einem Teilstrahlenbuendel, Teilstrahlenbuendel-Paare bestehen, die genau aus je einem Teilreferenz-Strahlenbuendel und einem Teilprueflings-Strahlenbuendel gebildet sind.D urch Verschiebung des Glaskeiles wird es moeglich, die Phase im Interferogramm definiert zu verstellen. Durch eine geeignete Teilverspiegelung des Glaskeiles wird ein hoher Kontrast im Interferogramm erreicht.